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一种面发射透射式阵列结构的空间相干X射线源制造技术
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文档序号:20591657
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本发明提供一种空间相干X射线源,包括:阴极、电子束汇聚装置和透射式阳极靶,阴极包括平面发射型电子发射体,其中,平面发射型电子发射体、电子束汇聚装置和透射式阳极靶依次设置于同轴光路上;平面发射型电子发射体具有垂直于光轴的用于发射第一电子束的发...
该专利属于深圳大学所有,仅供学习研究参考,未经过深圳大学授权不得商用。
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