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一种超声波模块及其制造方法，该超声波模块包含基底、复合层、以及覆盖层。基底具有上表面。复合层具有顶面、底面及内陷于底面的内凹面。底面位于基底的上表面上，内凹面与上表面之间形成至少一空间。复合层具有至少一第一沟槽，第一沟槽由顶面朝内凹面延伸。...该专利属于茂丞科技(深圳)有限公司;北京大学深圳研究生院所有，仅供学习研究参考，未经过茂丞科技(深圳)有限公司;北京大学深圳研究生院授权不得商用。