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本发明公开了一种原子力显微镜探针装置，利用真空吸附装置抵消探针重力，可有效避免换针过程中的脱针现象。通过设置具有狭槽贴片的施力件以及在探测针上设置相应的狭槽，狭槽贴片上设置弹性的施力装置，在探针座真空吸附探测针之后根据测试样品将狭槽贴片嵌入...
该专利属于河南大学所有，仅供学习研究参考，未经过河南大学授权不得商用。

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