下载一种多通道电子冷阱的技术资料

文档序号:20565719

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本发明公开了一种多通道电子冷阱,其包括多根管身上设置有加热部件的冷阱管、冷阱管安装部件、制冷源、散热器以及用于分别控制各冷阱管上加热元件的加热温度的温度控制器;而且,冷阱管安装部件具有多个用于穿入冷阱管的通孔;冷阱管安装部件的通孔分别穿入一...
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