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本发明涉及一种直拉重掺锑硅单晶锑源提纯装置及其提纯掺杂方法，包括支架、设置在支架上的提纯管和用于持续通入氩气的进气管，所述提纯管顶部设置有开口，所述开口处盖设有上盖，所述上盖中心位置处上下贯穿设置有通孔，所述提纯管内底部填充有若干锑源，该若...
该专利属于衢州晶哲电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过衢州晶哲电子材料有限公司授权不得商用。

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