下载一种电池生产用抽酸辅助的硅片减薄设备的技术资料

文档序号:20548614

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本发明涉及一种电池生产用抽酸辅助的硅片减薄设备,包括主体、伸缩杆和水箱,所述主体的顶端内壁安装有第一固定块,且第一固定块的底部活动设置有激光切管,所述激光切管的外侧贯穿有转轴,且转轴的左端活动连接有伺服电机,所述转轴的右侧活动外接有活动球,...
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