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本发明公开了一种硅晶体片磷扩散方法，其包括升温氧化、一次沉积、二次沉积、有氧推进、无氧推进、三次沉积、降温以及激光重掺杂；本发明中的工艺有效提升了硅晶体片的方块电阻，降低了表面掺杂浓度，提高了短路电流，开路电压增大；优化了电池性能。本发明中...该专利属于浙江爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技股份有限公司授权不得商用。