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本发明涉及一种应用于LOW‑K开槽设备的三轴联动精密平台，包括有限位底座，限位底座通过主连接板连接Y轴运动装置，Y轴运动装置通过副连接板连接X轴运动装置，X轴运动装置通过铝板底座安装有旋转θ轴运动装置。由此，采用大理石底座，吸震性能良好，对...
该专利属于苏州镭明激光科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州镭明激光科技有限公司授权不得商用。

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