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本发明公开了一种用于真空仪器的真空进换样装置。该真空进换样装置包括真空进样机构、真空泵组件以及功率检测器；真空进样机构包括真空箱、位于真空箱外的密封盖以及设在真空箱内的靶座组件和驱动组件；真空箱具有真空腔以及连通真空腔的进样孔，驱动组件用于...
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