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本发明公开了一种配向膜脱膜剂组合物,主要组成为碱性组分、非质子极性溶剂、有机醇溶剂和水,碱性组分中包含吗啉和/或具有吗啉环仲胺基团的吗啉衍生物。本发明配向膜脱膜剂组合物中引入了具有仲胺基团的吗啉和/或吗啉衍生物,吗啉分子结构中具有仲胺基团,...该专利属于江阴江化微电子材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江阴江化微电子材料股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种配向膜脱膜剂组合物,主要组成为碱性组分、非质子极性溶剂、有机醇溶剂和水,碱性组分中包含吗啉和/或具有吗啉环仲胺基团的吗啉衍生物。本发明配向膜脱膜剂组合物中引入了具有仲胺基团的吗啉和/或吗啉衍生物,吗啉分子结构中具有仲胺基团,...