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本发明公开了一种作为二次敏感结构的高Q值谐振梁结构，属于传感器技术领域。该结构主要包括第一谐振梁、第二谐振梁、第一支撑岛、第二支撑岛、第三支撑岛、第四支撑岛和衬底；第一谐振梁、第二谐振梁通过两端支撑岛固定于衬底上表面，二者间隔一定距离并排平...
该专利属于北京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京航空航天大学授权不得商用。

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