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本发明涉及一种振动传感器，振动传感器具有膜片和驱动器，膜片能够被激励以进行振动，且驱动器用于使膜片振动并且/或者检测膜片的振动，其中，驱动器是电磁作用型驱动器并包括永磁体、线圈和至少一个耦接到膜片的螺栓，其中，驱动器具有阻尼元件，阻尼元件实...
该专利属于VEGA格里沙贝两合公司所有，仅供学习研究参考，未经过VEGA格里沙贝两合公司授权不得商用。

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