下载气体输送装置的技术资料

文档序号:20513799

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种气体输送装置,由壳体、喷气孔片、腔体框架、致动器、绝缘框架及导电框架依序堆栈构成。喷气孔片包含支架、悬浮片及中空孔洞,支架包含固定部及连接部,其中固定部的形状与壳体的固定槽形状相对应,以定位喷气孔片容设于壳体的容置槽内。致动器...
该专利属于研能科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过研能科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。