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气体输送装置制造方法及图纸
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文档序号:20513799
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本发明提供一种气体输送装置,由壳体、喷气孔片、腔体框架、致动器、绝缘框架及导电框架依序堆栈构成。喷气孔片包含支架、悬浮片及中空孔洞,支架包含固定部及连接部,其中固定部的形状与壳体的固定槽形状相对应,以定位喷气孔片容设于壳体的容置槽内。致动器...
该专利属于研能科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过研能科技股份有限公司授权不得商用。
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