下载耐磨疏水的碳基复合薄膜、制备方法及其应用的技术资料

文档序号:20512015

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本发明公开了一种耐磨疏水的碳基复合薄膜、制备方法及其应用,所述的复合薄膜依次由Ti薄膜、TiN薄膜和TiCN薄膜构成,其中,TiCN薄膜是在C薄膜上掺杂金属Ti和非金属N构成,金属Ti的掺杂量为0.2~6.9wt%,非金属N的掺杂量为1.2...
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