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用于检测气体的集成感测装置制造方法及图纸
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下载用于检测气体的集成感测装置的技术资料
文档序号:20499400
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本发明涉及一种电化学气体感测元件(290),其具有小于5mm×5mm的占用面积,使得电解质容量、电极(302、303)的尺寸及电互连件(310)十分小。这导致在检测气体之后快速稳定且使偏置电压的迅速变化能够以不同气体为目标。传感器主体(30...
该专利属于因赛特系统公司所有,仅供学习研究参考,未经过因赛特系统公司授权不得商用。
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