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该混合检查系统是包括第一检查设备(1)和第二检查设备(2)的检查系统，其中第一检查设备(1)基于通过用X射线照射样本(11)获得的X射线测量数据来检查样本(11)，并且第二检查设备(2)通过使用不采用X射线的测量技术来检查样本(11)。由第...
该专利属于株式会社理学所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社理学授权不得商用。

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