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一种指向性MEMS麦克风制造技术
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文档序号:20494705
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本发明公开一种指向性MEMS麦克风,包括:由基板和壳体围成的具有容纳腔的封装结构;以及位于所述容纳腔内且结合固定在所述基板上的MEMS芯片;所述壳体上包括第一声孔,所述第一声孔包括:形成于壳体顶壁内第一声音通道;位于所述第一壳体的顶壁上且连...
该专利属于歌尔股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过歌尔股份有限公司授权不得商用。
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