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本发明公开了一种微流道散热器,其内设有微流道、分流网络,表面设有进出液口,所述微流道散热器的外表面设有金属层。本发明的微流道散热器,通过在微流道散热器表面设置金属层,不仅很好地满足了高频率系统的接地要求,还避免了在微流道散热器上设置深TSV...该专利属于中国电子科技集团公司第二十九研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第二十九研究所授权不得商用。
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本发明公开了一种微流道散热器,其内设有微流道、分流网络,表面设有进出液口,所述微流道散热器的外表面设有金属层。本发明的微流道散热器,通过在微流道散热器表面设置金属层,不仅很好地满足了高频率系统的接地要求,还避免了在微流道散热器上设置深TSV...