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本实用新型提供半导体单晶炉上炉筒自动脱开机构，包括一旋转锁紧机构，旋转锁紧机构包括一设有外齿的固定环以及一设有内齿的旋转环，旋转锁紧机构通过外齿与内齿相抵或者错位进行锁紧或者松开；固定环安装在上炉筒的下端面上；还包括一旋转环安装机构，旋转环...
该专利属于上海汉虹精密机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海汉虹精密机械有限公司授权不得商用。

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