下载半导体单晶炉籽晶夹头的技术资料

文档序号:20479270

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本实用新型提供半导体单晶炉籽晶夹头,籽晶重锤是采用钼材料整体加工的籽晶重锤,下端连接螺纹,与籽晶夹套上端的内螺纹连接;籽晶夹套为带内锥的钼材料籽晶夹套,上端设计有内螺纹与籽晶重锤连接,中间设计有散热小孔;石墨衬套是带内外锥面的高强度石墨衬套...
该专利属于上海汉虹精密机械有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海汉虹精密机械有限公司授权不得商用。

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