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文档序号:20440512

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本发明实施例的划片设备包括加载台以及基板支撑部,所述基板支撑部配置在加载台的上部并包括支撑基板的支撑件和移动单元,所述移动单元使支撑件移动,以形成供基板通过的开口,以便将基板传递到加载台,移动单元包括第一移动模块和第二移动模块,所述第一移动...
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