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一种用于金属掩膜板的清洗系统技术方案
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下载一种用于金属掩膜板的清洗系统的技术资料
文档序号:20436601
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本发明涉及金属掩膜板清洗技术领域,具体是一种用于金属掩膜板的清洗系统,包括封闭的车间,车间内地面上放置有一排若干个清洗槽,清洗槽后端装有脱水槽,其特征是:车间内位于清洗槽上方装有两根纵向梁,两根纵向梁上装有机械手,清洗系统还包括用于装载金属...
该专利属于湖北浚山光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖北浚山光电有限公司授权不得商用。
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