下载基于金刚石薄膜的快速响应的海水压力传感器的技术资料

文档序号:20425188

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本实用新型属于海洋环境监测设备技术领域,涉及一种用于检测海水压力的传感器。一种基于金刚石薄膜的快速响应的海水压力传感器,包括底座、基底、绝缘层、压力敏感层、电极和防护层;所述基底位于底座的顶面,其内部形成有应力腔;绝缘层位于基底的顶面,且位...
该专利属于山东省科学院海洋仪器仪表研究所所有,仅供学习研究参考,未经过山东省科学院海洋仪器仪表研究所授权不得商用。

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