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本发明公开了一种石墨烯电光调制器及其制备方法，涉及电光调制器领域，其包括衬底以及形成于衬底上的马赫泽德干涉仪结构；所述马赫泽德干涉仪结构包括石墨烯垂直混合等离子光波导；所述石墨烯垂直混合等离子光波导包括：第一高折射率材料层、第二高折射率材料...该专利属于武汉邮电科学研究院有限公司;武汉光谷信息光电子创新中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉邮电科学研究院有限公司;武汉光谷信息光电子创新中心有限公司授权不得商用。