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本发明公开了一种光学薄膜缺陷激光损伤阈值的测试方法，该方法中激光束经衰减器后到达光束分束器，光束分束器透射方向的激光束经过聚焦透镜到达金属膜，CCD相机记录激光辐照在金属膜表面的光斑位置和辐照在光学薄膜表面时的激光损伤点坐标，扫描电子显微镜...
该专利属于中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所授权不得商用。

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