下载一种参考压力可调的柔性压力传感器阵列及其制备方法的技术资料

文档序号:20421398

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本发明属于柔性电子与传感器相关技术领域,并公开了一种参考压力可调的柔性压力传感器阵列,它包括封装层、顶电极、PZT压电薄膜层、底电极、PI基底和微流道空腔基底,其中顶电极和底电极分别布置在压电薄膜层的两侧,并且当压力作用于传感器阵列时,压力...
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