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本实用新型公开了一种磁控溅射设备的装片装置，其包括多层样品架、支撑架、连接杆、电机和位置识别模块，所述多层样品架通过连接件与支撑架固定；所述支撑架与连接杆的上端连接；所述电机与连接杆的下端连接，用于驱动连接杆旋转和升降；所述位置识别模块安装...
该专利属于佛山市卓膜科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过佛山市卓膜科技有限公司授权不得商用。

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