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本发明涉及一种用于离子注入的改进组合物。该组合物包含掺杂剂源和助剂物质，其中助剂物质与掺杂剂气体组合产生所需掺杂剂离子的束电流。选择助剂物质的标准基于以下性质的组合：电离能，总电离截面，键离解能与电离能比和某种组成。...
该专利属于普莱克斯技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过普莱克斯技术有限公司授权不得商用。

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