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本发明涉及射频微机电系统技术领域，提出一种柔性薄膜体声波谐振器，包括由下至上依次设置的衬底、下电极、压电层和上电极，其中上电极和下电极的材质为石墨烯、碳纳米管或聚3,4‑乙烯二氧噻吩，压电层的材质为ZnO纳米棒和P(VDF‑TrFE)组成的...
该专利属于电子科技大学中山学院所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学中山学院授权不得商用。

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