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本发明公开了一种应用于RTP的蚀刻工具及工艺，该丝印网用于在ITO层表面印刷蚀刻膏，其丝印网由金属丝纵横交织而成，形成的网孔密度为320‑400个/英寸，线径为18‑30μm，孔径为39‑55μm。该蚀刻工艺采用蚀刻膏蚀刻的方式，简化了蚀刻...
该专利属于东莞通华液晶有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞通华液晶有限公司授权不得商用。

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