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本发明公开了一种基于中等折射率波导材料的高效率光栅耦合器，具体结构从下往上依次为衬底、下包层、中等折射率材料层、绝缘层、非晶硅光栅、上包层。本发明还公开了一种基于中等折射率波导材料的高效率光栅耦合器的制备方法，首先在衬底上制备波导下包层及中...
该专利属于中山大学所有，仅供学习研究参考，未经过中山大学授权不得商用。

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