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基于部分相干光的纳米位移台精密定位方法技术
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下载基于部分相干光的纳米位移台精密定位方法的技术资料
文档序号:20388065
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本发明属于精密工程领域,具体为一种基于部分相干光的纳米位移台精密定位方法。该方法步骤如下:采用低相干光源,首先利用干涉光路,根据干涉图像的对比度确定最佳对焦位置;随着物镜的纵向移动记录干涉条纹的变化,利用发明中的拟合算法得到干涉强度包络曲线...
该专利属于复旦大学所有,仅供学习研究参考,未经过复旦大学授权不得商用。
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