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本发明公开了一种适用于封闭流体回路的压电泵及制作方法，压电泵泵体上表面设有中心沉腔，下表面设有入流沉腔和出流沉腔，进液阀片安装在中心沉腔底部并将进液孔封盖，排液阀片安装在出流沉腔底部并将排液孔封盖；压电振子安装在泵体上表面并将中心沉腔封盖；...
该专利属于中国电子科技集团公司第二十六研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第二十六研究所授权不得商用。

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