温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体及设于坩埚本体内部的导热装置，所述坩埚本体包括坩埚底及与所述坩埚底相连的侧壁，所述导热装置固定连接在侧壁上，且所述导热装置呈蜂窝状，具有多条并列沿所述坩埚本体轴向延伸的用于容纳蒸镀材料的通道，相比于现有技...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。