温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明的一种双层冷却夹套的甲硅烷热分解炉及生产工艺，其特征在于所述的热分解炉由钟罩、底板、硅棒、夹套盖板、外冷却夹套和内冷却夹套构成。本发明的一种双层冷却夹套的甲硅烷热分解炉及生产工艺通过在硅棒外设置双层冷却夹套，利用双层夹套之间的冷却空隙...该专利属于中国化学赛鼎宁波工程有限公司;河南硅烷科技发展股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国化学赛鼎宁波工程有限公司;河南硅烷科技发展股份有限公司授权不得商用。