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本发明公开了一种集成电路芯片失效点定位方法，包括以下步骤：解除被测试集成电路芯片接地；解除被测试集成电路芯片各结构之间连接；对被测试集成电路芯片短路监控线路进行接地操作；通过二次电子电压衬度(VC)精确定位失效点。本发明提供的集成电路芯片失...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

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