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本发明公开了一种测量膜厚的装置及方法，所述光源发出的光束经过所述光束整形器形成线状光束，所述线状光束依次经过所述固定起偏器和旋转起偏器进入晶圆表面的膜层，并在晶圆表面的膜层中发生反射和折射，线状光束经过膜层反射之后进入所述聚焦光栅单元，所述...
该专利属于上海集成电路研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路研发中心有限公司授权不得商用。

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