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本发明公开了一种适用于大型真空部件的抽气机组，包括抽气装置、电控部分和支撑；抽气装置包括环形管路、第一波纹管、冷凝过滤器、冷阱、第二波纹管、手动蝶阀、旋片泵、罗茨泵、排气筒；环形管路主吸气口与第一波纹管连接，第一波纹管的另一端连接冷凝过滤器...
该专利属于郑旺旺所有，仅供学习研究参考，未经过郑旺旺授权不得商用。

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