下载一种提高硬质合金表面钛铝氮涂层强韧性的方法的技术资料

文档序号:20352121

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本发明公开了一种提高硬质合金表面钛铝氮涂层强韧性的方法,包括下列步骤:将预处理好的硬质合金试样放入双辉等离子渗金属炉样品台上,悬挂好自制靶材并放置好辅助阴极;抽真空后通入氩气,对阴极与源极施加高电压并维持一定压差,反溅射清洗后对样品进行渗钽...
该专利属于太原理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过太原理工大学授权不得商用。

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