下载一种低介电损耗钛酸铜钙薄膜的制备方法的技术资料

文档序号:20348625

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本发明属于电子功能材料技术领域,涉及一种低介电损耗钛酸铜钙薄膜的制备方法;具体步骤为:首先制备获得CCTO前驱体溶胶;然后清洗硅片,将硅片依次浸入NaOH溶液、去离子水中和无水乙醇中,超声振荡,烘干、冷却后备用;取前驱体溶胶的上层清液保温,...
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