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本发明提供了一种镁铝合金研磨装置及研磨工艺,其中,镁铝合金研磨装置包括工作台,所述工作台上设置有可X向和Y向移动的XY平台,XY平台上设置有研磨工位,所述XY平台上位于研磨工位的一侧安装有纯水喷头,纯水喷头的数量至少与研磨工位的数量相等,所...该专利属于昆山锲恒精密组件科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山锲恒精密组件科技有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种镁铝合金研磨装置及研磨工艺,其中,镁铝合金研磨装置包括工作台,所述工作台上设置有可X向和Y向移动的XY平台,XY平台上设置有研磨工位,所述XY平台上位于研磨工位的一侧安装有纯水喷头,纯水喷头的数量至少与研磨工位的数量相等,所...