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本发明提供了一种全自动硅片倒角加工设备及其加工工艺，该全自动硅片倒角加工设备通过分片上料装置和传输自定心装置实现堆叠的硅片的单片分片和自定心，之后由抓取装置将自定心完成的硅片抓取并在硅片转移装置的移动下实现向倒角装置上进行放片，并在倒角装置...
该专利属于浙江中晶新材料研究有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江中晶新材料研究有限公司授权不得商用。

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