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本公开提供一种硅谐振压力传感器自动标定系统及标定方法，该硅谐振压力传感器自动标定系统，包括：温箱、压力控制器、信号采集电路板以及计算机；温箱用于改变硅谐振压力传感器标定时所处环境的温度；压力控制器用于改变硅谐振压力传感器标定时所受的压力；信...
该专利属于中国科学院电子学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院电子学研究所授权不得商用。

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