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本发明公开了一种高效生产多晶硅的还原装置及工艺，该装置包括物料混合系统、物料汽化系统及氯硅烷还原生成多晶硅的系统。其中物料混合系统包括三氯氢硅和二氯二氢硅进料调节阀及物料混合器，在还原工程中不同阶段，调整二氯二氢硅的比例。汽化系统是以1MP...该专利属于中国南玻集团股份有限公司;宜昌南玻硅材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国南玻集团股份有限公司;宜昌南玻硅材料有限公司授权不得商用。