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基板保持装置制造方法及图纸
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下载基板保持装置的技术资料
文档序号:20290410
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提供一种能够在不产生扭曲的情况下使基板弯曲的基板保持装置。用于吸附保持基板的基板保持装置包括:中央框架,所述中央框架包括吸附基板的吸附体;一对侧部框架,所述侧部框架分别设置在中央框架的两个外侧,中央框架位于其间,各自包括吸附基板的吸附体;以...
该专利属于堺显示器制品株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过堺显示器制品株式会社授权不得商用。
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