温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种用于压力传感器设备的微机械构件，所述微机械构件具有膜片(16)、至少一个第一定子电极(28a)、至少一个第二定子电极(28b)和摆杆结构(22)，所述膜片将参考压力(pr)与外部压力(p)隔离，所述摆杆结构能够围绕旋转轴线(2...
该专利属于罗伯特·博世有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗伯特·博世有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。