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以气动驱动分配单元的螺线管阀将材料分配于基板上的方法技术
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下载以气动驱动分配单元的螺线管阀将材料分配于基板上的方法的技术资料
文档序号:20287827
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本发明涉及一种控制分配单元的方法,所述分配单元用于将材料分配于基板上。所述方法包括将气动驱动泵的螺线管线圈连接至分配系统的放大器输出端,和以所述放大器驱动所述螺线管线圈以引起所述气动驱动泵将材料分配于基板上。所述方法还可包括在不活动周期期间...
该专利属于伊利诺斯工具制品有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过伊利诺斯工具制品有限公司授权不得商用。
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