下载一种靶组件及其制造方法的技术资料

文档序号:20285931

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本发明涉及一种靶组件及其制造方法。所述靶组件包括第一靶、基座以及窗。其中,所述第一靶具有在受到射束撞击时产生第一辐射的能力,所述基座用于支撑所述第一靶,所述窗可透过至少部分所述射束。所述窗和所述基座构成密封室的至少一部分,所述第一靶位于所述...
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