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本发明属于材料制备领域，具体的提供了一种用于三维原子探针检测的半导体针尖样品的制备方法。此方法不同于传统的将整个鳍结构竖直放置在一个针尖的方法，而是采用分段法，横切半导体器件中的鳍结构，将半导体器件中的鳍结构垂直于生长方向放置，使用聚焦离子...
该专利属于南京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京理工大学授权不得商用。

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