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本发明涉及一种用于坐标测量机的光学粗糙度传感器(10)，包括：用于耦合输入和解耦光学有效辐射的光束耦合单元(11)，用于通过有效辐射的参考辐射分量提供参考路径和干涉参考信号的本地参考振荡器件，包括第一光束通过窗的第一解耦路径，第一光束通过窗...
该专利属于赫克斯冈技术中心所有，仅供学习研究参考，未经过赫克斯冈技术中心授权不得商用。

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